中科院微电子所刘新宇研究员团队与合作伙伴成功研制出高性能低成本1200v sic mosfet，该成果基于新型6英寸sic复合衬底。

SiC晶圆产业面临产能扩张与高质量衬底成品率低的挑战（40%-60%）。大量低质量衬底被浪费，导致成本居高不下（通常超过MOSFET总成本的50%），并造成高碳排放。

该团队创新性地提出并实现了6英寸单晶SiC复合衬底，利用表面活化键合和离子注入剥离技术，将高质量SiC薄层转移到低质量衬底上，实现低质量衬底的有效利用。每个高质量SiC晶圆可重复使用超过30次，预计成本降低40%。

该复合衬底缺陷密度低，界面热阻低至2.8 +1.4/-0.7 m²K/GW（国际最低值），且键合界面电场强度小。基于该衬底制造的6英寸SiC外延层，无致命缺陷良率高达99.2%。最终制成的1200V、20mΩ SiC MOSFET器件良率超过70%。

相关研究成果已于12月10日在第70届国际电子器件大会(IEDM 2025)上以口头报告形式发表。

☞☞☞AI 智能聊天, 问答助手, AI 智能搜索, 免费无限量使用 DeepSeek R1 模型☜☜☜

图1. 6英寸SiC-SiC键合制造工艺流程图

Perplexity

Perplexity是一个ChatGPT和谷歌结合的超级工具，可以让你在浏览互联网时提出问题或获得即时摘要

302 查看详情

图2. 6英寸工程衬底和外延层上SiC MOSFET沟道区域高分辨率透射电镜(HRTEM)图像

图3. VGS= -4V，VDS=1200V条件下，6英寸晶圆上器件IGSS分布图 (图a良率90%，图b良率70%)

图4. 浪涌电路测试结果：(a)电路原理图；(b)理想波形；(c)浪涌电流测试装置照片；(d)不同浪涌电流水平下器件电流电压波形；(e)失效器件引脚间电阻。

文章来源：中国科学院微电子研究所

以上就是中科院基于新型SiC复合衬底的低成本MOSFET取得重要进展的详细内容，更多请关注其它相关文章！

# 微电子所  # 遵义县关键词搜索排名  # 榆次网站推广优化  # 指定词seo排名  # shopify 怎么做SEO  # 百色独特seo方法  # 陕西网站建设课后答案  # 最新推出  # 内测  # 晶圆  # 亚洲  # 腾讯  # 亿元  # 高质量  # 浪涌  # 低成本  # igs  # 2025  # 青禾晶元  # 中国科学院  # 淘宝网站推广直通车  # 关键词快速排名是什么  # 青岛网站推广认准k青岛博采网络  # 甘肃提高百度关键词排名 

相关栏目： 【 行业资讯67740 】 【 技术百科0 】 【 网络运营39195 】

相关推荐： 金色cmyk色值是多少  如何通过命令检测u盘启动  typescript如何遍历map  没基础做单片机怎么样  为什么进行域名解析  typescript是什么软件  课程伴侣登不上怎么办  春运抢票最多能抢几趟车  ssd固态硬盘如何安装  calm是什么意思  ai怎么找链接文件位置教程  望远镜上power是什么意思  国标控制器单片机怎么接线  课程伴侣电脑怎么登录  联想手机如何输入命令行  爱奇艺vip会员可以同时几个人用？  a股等权市盈率中位数是什么意思  如何寻找和修复无法在 AI 中找到文件的问题  苹果16改进了哪些  台达plc只有power灯亮是什么意思  征信不好如何快速恢复 征信不好快速恢复的方法  平板键盘nfc功能是什么意思  微信最多可以加多少好友  净水器上的power是什么意思  单片机怎么进行排序操作  单片机的速度怎么求  如何更新typescript  花呗征信不好如何恢复 如何修复不良的花呗征信  苹果16将会带来哪些升级  typescript和哪个语音很像  什么是泛域名解析  索尼type-c接口是什么  苹果16哪些会降价的  苹果16有哪些系统  如何进入cmd命令行  如何开发typescript  typescript怎么拼接  vue组件typescript怎么用  typescript多久能学完  阿里云盘扩容工具怎么用  youtube受限模式是什么_youtube受限模式是什么意思  如何为服务器配置静态路由？服务器配置静态路由详细教程  win10锁屏壁纸怎么换360锁屏壁纸吗  typescript如何标记私有方法  苹果16主打颜色有哪些  春运抢票最快几天能成功  苹果16充电方式有哪些  如何查看固态硬盘分区  得物怎样降低手续费 得物如何降低手续费教程  市盈率当中17A 18E是什么意思