新闻中心 
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06-17华海清科“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”专利公布天眼查信息显示，华海清科股份有限公司于2025年3月14日公开了一项名为“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”的专利，专利申请公布号为CN119609...
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04-04华海清科“一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备”专利公布华海清科股份有限公司近日公布一项名为“一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备”的新专利（申请公布号：CN119542201A，申请公布日：2025年2月28日...
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04-03华海清科“位置标定装置”专利公布华海清科股份有限公司近日公布一项名为“位置标定装置”的专利（申请公布号：CN119542200A，申请公布日：2025年2月28日）。该专利设计了一种应用于干燥...
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02-06华海清科“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”专利公布华海清科（北京）科技有限公司近日公布一项名为“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”的新专利（申请公布号：CN119133038A，申请公布日：2024年11月13日）。...
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01-27华海清科“一种边缘切割晶圆的在位检测装置和在位检测方法”专利获授权华海清科近日获得一项关于边缘切割晶圆在位检测装置及方法的专利授权（授权公告号：CN114267605B，授权公告日：2024年12月31日）。该专利申请于202...
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01-20华海清科“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”专利公布华海清科股份有限公司一项名为“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”的专利申请已于2024年12月13日公开，申请公布号为CN119115785A。该专利提出...
