华海清科（北京）科技有限公司近日公布一项名为“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”的新专利（申请公布号：cn119133038a，申请公布日：2025年11月13日）。

☞☞☞AI 智能聊天, 问答助手, AI 智能搜索, 免费无限量使用 DeepSeek R1 模型☜☜☜

该专利技术旨在改进晶圆干燥过程。其核心在于设计了一种新型晶圆干燥装置，该装置包含：卡盘、用于支撑晶圆的支撑件、驱动卡盘旋转的旋转机构以及环状布置的液体回收机构，用于收集晶圆旋转甩出的液体。 装置的卡盘上表面边缘还设有周向凹陷部，实现液体与卡盘表面的平滑过渡。 配套的晶圆干燥方法则利用该装置完成干燥过程。

Reachout.ai

一个AI驱动的视频开发平台，专为忙碌的企业家和销售团队打造

142 查看详情

通过优化液体排出路径，确保液滴快速进入回收机构，从而显著提升干燥效率和液体回收率。

以上就是华海清科“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”专利公布的详细内容，更多请关注其它相关文章！

# 北京  # 提升网站优化的方法  # 琅妮斯蜂蜜营销推广策略  # 密云建筑网站建设  # 广告设计营销推广方案  # 怎么去推广新网站赚钱呢  # 沧州营销推广加盟店  # 网络营销朋友圈推广  # 大型网站建设主要内容  # 养老机构营销推广模板  # 临清网站优化推广  # 华海清科  # 专为  # 看不  # 解决问题  # 中文网  # 相关文章  # 配图  # 如何用  # 跌至  # 晶圆  # 2025 

相关栏目： 【 行业资讯67740 】 【 技术百科0 】 【 网络运营39195 】

相关推荐： 电焊机power和oc是什么意思  固态硬盘如何4k对其  win7怎么取消360显示的壁纸  苹果手机16系统有哪些  关系型数据库和非关系型数据库有哪些  vue中datediff函数怎么用  为什么夸克运行不了  typescript需要学多久  为什么学typescript  苹果16有哪些系统  汽车的type-c接口是什么  市盈率中1stdv是什么意思  如何在固态硬盘上安装win7系统  电信开通nfc功能是什么意思  如何查询固态硬盘寿命  苹果16哪些会降价的  苹果16送哪些配件  春运哪天抢票最好预约  typescript文件怎么打开  固态硬盘如何下载网页  三星固态硬盘如何保修  固态硬盘损坏如何修复  ospf中交换机命令如何设置  如何更新固态硬盘固件  夸克用的什么服务器  市盈率市净率是什么意思  折叠手机屏易坏吗为什么  wps中datediff函数怎么用 WPS中DATEDIFF函数的语法和用法分享  debug中如何用n命令命名程序文件名  宝马x5仪表盘上边有power是什么意思  为什么进行域名解析  如何使硬盘升级固态硬盘  固态硬盘电脑如何设置  按键精灵datediff函数怎么用 如何使用按键精灵中的Datediff函数教程  华为交换机如何复制命令行  type-c全能接口是什么意思  hen是什么意思  linux如何查看命令的参数  学typescript需要什么基础么  酷我音乐怎么改每日推荐 酷我音乐每日推荐修改方法  折叠手机内屏为什么会坏  如何使用程序编译 执行的命令  j*a数组怎么保存类  苹果16多有哪些功能  苹果16哪些型号好用  苹果手机16新款颜色有哪些  手机nfc功能功能是什么意思  typescript要用什么工具  一分钟等于多少秒  如何为服务器配置静态路由？服务器配置静态路由详细教程