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盛美上海等离子体增强原子层沉积炉管设备通过初步验证,原子层沉积炉管产品进一步强化
盛美上海(科创板股票代码:688082)近日宣布,其2024年推出的UltraFnA等离子增强型原子层沉积炉管设备(PEALD)已完成中国大陆某半导体客户的工艺...
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