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01-06【专利】北方华创“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”专利公布；基本半导体“碳化硅基集成SBD和SGT器件及其制备方法”专利公布；一微半导体“一种n倍脉宽扩展电路及脉宽扩展的锁相环系统”专利获授权近期半导体行业专利动态：北方华创、基本半导体、一微半导体等企业纷纷斩获专利成果。1.北方华创：高效腔室清洁技术专利公布北京北方华创微电子装备有限公司近日公布一项...
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